Flächenhaftes Messen mit Interferometrischem Weisslichtsensor

Ari. Die Mahr-Gruppe bietet mit Marsurf WS1 und dem Interferometrischen Weiss­lichtsensor (IWS) Oberflächensensoren und Messplätze, die nach dem Prinzip der Weisslichtinterferometrie

Ari. Die Mahr-Gruppe bietet mit Marsurf WS1 und dem Interferometrischen Weisslichtsensor (IWS) Oberflächensensoren und Messplätze, die nach dem Prinzip der Weisslichtinterferometrie arbeiten. Wer eine Oberfläche mit einem IWS flächenhaft dreidimensional misst, erfasst Messdaten 100 Mal schneller als mit der Tastschnittmethode. Gleichzeitig stösst der Benutzer mit dieser optischen Messtechnik in die Genauigkeit des Nanometerbereichs vor, da dieser Sensor mit einer vertikalen Auflösung von 0,1 nm arbeitet. Weitere Vorteile für den Nutzer: Das Werkstück wird durch diesen Sensor nicht deformiert oder beeinträchtigt, die Oberfläche bleibt unbeschädigt und es gibt keinen Verschleiss an der Messeinrichtung. So erlaubt es dieses Messprinzip, Oberflächen zu messen, die mit einem Messtaster nicht oder nur bedingt messbar sind. Der IWS ist auf Multisensormessplätzen von Mahr im Einsatz. Mit einer Messpunktdichte von bis zu 1,8 Mio. 3D-Messpunkten pro Sekunde können Topografien, Konturen und Rautiefen einer Oberfläche schnell und exakt gemessen werden. Die optische Messung auf einem Multisensor-Messplatz ist aufgrund der grossen Verfahrwege auch für grosse Werkstücke interessant. Zudem kann der Sensor hier mit weiteren optischen und tastenden Sensoren kombiniert werden.

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