Massgeschneidert für den Kunden

Redakteur: Redaktion SMM

In modernen Industrie-Branchen wie der Produktion von Halbleiter- oder Solartechnik ist die Sauberkeit verbauter Komponenten so wichtig wie nie zuvor. Die Hersteller von Reinigungsanlagen sehen sich daher vor immer grössere Aufgaben gestellt. Die Anforderungen an Ergebnis, Sicherheit, Qualität und Umweltaspekte steigen stetig. Deshalb sind massgeschneiderte Konzepte gefragt.

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In modernen Industrie-Branchen, wie der Produktion von Halbleiter- oder Solartechnik, ist die Sauberkeit verbauter Komponenten so wichtig wie nie zuvor. Die Hersteller von Reinigungsanlagen sehen sich daher vor immer grössere Aufgaben gestellt, um die steigenden Anforderungen an Ergebnis, Sicherheit, Qualität und Umweltaspekte zu meistern. Deshalb sind massgeschneiderte Konzepte gefragt.

Flexibilität und Qualität entscheidet

Seit zwei Jahren kommt bei dem Ventilhersteller VAT aus Haag im Rheintal die Reinigungsanlage PowerJet 670 zur Anwendung von LPW Reinigungssysteme in Riederich, Deutschland. Hochdruckflutwaschen und Ultraschall (40 kHz) unterstützen die Feinst-reinigung. Eine Vollentsalzungsanlage mit Kreislaufführung ermöglicht, die elektrische Leitfähigkeit des Bads für den dritten und letzten Spülprozess auf unter 6 µS/cm zu reduzieren. Basis für diese Anlagenentscheidung war eine ausführliche Herstellerstudie von VAT. Schliesslich werden in Haag Regel-, Transfer-, Eck- und Membranventile für Vakuumprozesse gefertigt. Der Schweizer Hersteller ist marktführend in diesem Segment, das sich vermehrt der Produktion in der Solar-, Nuklear- und Halbleitertechnik sowie in der Optik öffnet.

Ferner werden die Ventile in Instituten für Tests in Hoch-, Tief- und Tiefstvakuum verwendet. Gerade bei extremen Vakuumbedingungen müssen sie von besonderer Sauberkeit sein, um dort die Anforderungen bezüglich Restgasmenge zu erfüllen. Sind Teile durch Partikel oder Reste organischer Substanzen verschmutzt, werden angepeilte Unterdrücke im Vakuum nicht erreicht. Die Prüfung des Reinigungsergebnisses erfolgt bei VAT über Restgasanalyse im Labor und in der Fertigung mittels Tintenschnelltest. Der Ventilhersteller setzt dabei aus Umwelt- und Sicherheitsgründen ausschliesslich auf die Reinigung mit wässrigen Medien.