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Steinmayer: Positioniersysteme Zur Inspektion und zum Bearbeiten sechsachsig hochgenau positionieren

Von Steinmeyer 1 min Lesedauer

Anbieter zum Thema

Steinmeyer Mechatronik GmbH
Schneeberger AG
Fondation Polyval
Mikron Switzerland AG, Division Tool

Zum Messen, Prüfen und Bearbeiten sind Halbleiterelemente, zum Beispiel Wafer und Platinen, auf wenige µm genau zu positionieren. Gleiches gilt für optische Komponenten. Das erfordert kompakte Positioniersysteme. Sie müssen auf wenigen Millimetern Fahrweg beziehungsweise über wenige Winkelgrade die aufgespannten Bauteile bewegen.

Hochgenau positionieren: Die sechsachsigen Positioniersysteme von Steinmeyer eignen sich zum Bearbeiten und zur Inspektion in der Halbleiter- und der Optikindustrie. (Bild: Steinmeyer)
Hochgenau positionieren: Die sechsachsigen Positioniersysteme von Steinmeyer eignen sich zum Bearbeiten und zur Inspektion in der Halbleiter- und der Optikindustrie.
(Bild: Steinmeyer)

Dafür eignet sich der jüngst vorgestellte 6-Achs-Manipulator von Steinmeyer Mechatronik. Er positioniert auf wenige Zehntel µm genau. Er besteht aus einem horizontalen Kreuztisch, einem Tripod für Vertikalhub und zwei Achsen zum Kippen des Tischs gegen die Horizontale. Er kombiniert damit die Vorteile und Funktionen kartesischer und parallelkinematischer Konstruktionen. Kartesisch (X-Y) positioniert er über +/–15 mm Fahrweg. Die Vertikalachse (Z) des Tripods fährt um +/–10 mm. Die rotatorischen Achsen Rx und Ry ermöglichen Kippungen um +/–2°. Um die vertikale Achse kann der Positioniertisch um 360° drehen. Bis 15 kg schwere Lasten können auf +/–2,5 µm beziehungsweise auf +/–0,005° genau positioniert werden.

Der Manipulator verfügt über eine zentrale Durchlichtöffnung von 250 mm und kann zum Ausrichten von Wafern und Optiken bis 300 mm Durchmesser (12″) eingesetzt werden. Für Wafer mit 450 mm Durchmesser (18″) können Sonderausführungen verwirklicht werden. Geeignet ist der 6-Achs-Manipulator unter anderem zum Testing und Bonding auf Wafern und Leiterplatten sowie zur kombinierten optischen Inspektion und Bearbeitung, beispielsweise beim Chip-on-Board-Bonding unter dem Messmikroskop. Ausführungen für einen Einsatz in Reinräumen sind verfügbar.

Über unterschiedliche Schnittstellen – EtherCAT, CAN, Ethernet oder Profibus – werden die Positioniersysteme in ein Datennetzwerk eingebunden und mit Steuerungen verbunden. Motion Controller für Steuerungen von Beckhoff, ACI oder Siemens sowie Softwareschnittstellen und Bibliotheken stehen für nahezu sämtliche üblichen Industriesteuerungen und Hochsprachen (API) zur Verfügung. (kmu)

(ID:49754581)

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